參考價格
面議型號
HSC-050511品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
真空溫控精度:
±5~±10最高溫度:
1500-2400額定溫度:
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碳化硅燒結爐(臥式)
產(chǎn)品描述:
主要用于半導體領域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結、氣氛燒結。
應用范圍:
碳化硅陶瓷平臺、導軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤、卡盤、機械臂、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)、流化床反應容器等
可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;
采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術,能在高溫條件下長時間使用;
采用特殊的高溫紅外測量技術,控溫準確,誤差??;
全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;
可選配脫脂系統(tǒng),實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理;
適于工藝氣氛:N2/Ar。
參數(shù)\型號 | HSC-050511 | HSC-100612 | HSC-101015 | H(D)SC-101050 |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 500×500×1100 | 1000×600×1200 | 1000×1000×1500 | 1000×1000×5000 |
**溫度(℃) | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 |
溫度均勻性(℃) | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術方案和協(xié)議為準。
結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質:等靜壓石墨/CFC/陶瓷
熱電偶:K/N/C/S分度號
紅外儀:單比色/雙比色
暫無數(shù)據(jù)!
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