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U380S 是一款集非接觸式 3D 量測和 2D 表面缺陷檢測為一體的國產(chǎn)自研檢測設(shè)備，致力于WLP（wafer level package）封測工藝的缺陷檢測。U380S 提供 3D 量測和成像功能，結(jié)合集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)，可實現(xiàn)檢測全自動化。采用 BF （明場）、DF （暗場）和 3D 量測技術(shù)，結(jié)合成熟完善的數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)，實時反饋缺陷信息，減少廢品率，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。