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MPCVD中文名稱叫微波等離子體化學氣相沉積,是目前國內外制備單晶金剛石應用*廣泛的方法。
MPCVD因為能夠制備大面積、高質量的金剛石,被認為是未來制備人造金剛石*理想的方法。
主要特點:等離子體中電子密度高,產生原子H的濃度大,沒有電極污染,能夠在較大壓力下產生
穩(wěn)定的等離子體,生長的金剛石膜的質量較高。
我司的核心競爭力在于其先進的 MPCVD設備技術及持續(xù)的研發(fā)能力。設備采用了行業(yè)**的技術
和工藝,能夠精確控制金剛石材料的生長過程,確保產品的高質量和高性能,目前在2.45Ghz頻段
已量產6KW,10KW,15KW的MPCVD設備,以及75KW 915Mhz頻段的大功率設備。
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