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PRISMO UniMax? MOCVD設備品牌
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中微具有自主知識產(chǎn)權的PRISMO UniMax? MOCVD設備可配置多達4個反應腔,可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片，通過石墨盤的調(diào)整，可擴展至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一創(chuàng)新設計具備優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。中微PRISMO UniMax? MOCVD設備配置了新穎的局部溫度補償加熱系統(tǒng)，專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設計，具備優(yōu)異的產(chǎn)出波長均勻性及產(chǎn)出穩(wěn)定性。此外，PRISMO UniMax? MOCVD設備配置了785mm大直徑石墨托盤，極大地提高了設備產(chǎn)能，并有效地降低了Mini LED外延片的生產(chǎn)成本。
自主的實時監(jiān)控系統(tǒng)
精準的參數(shù)控制
自動化的控制與維護功能
符合半導體標準的軟件控制系統(tǒng)
可獨立控制的反應腔運行模式 新穎的局部溫度調(diào)控加熱系統(tǒng) 優(yōu)異的LED波長均勻性競爭優(yōu)勢
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