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光學系統(tǒng)陣容多樣：可提供 BF（明場）/DF（暗場）/DIC（微分干涉對比）/ 特殊光學系統(tǒng)。
檢測工具：具備 AI-ADC 功能、多種數(shù)據(jù)輸入 / 輸出接口、檢測結果分析系統(tǒng)及配方共享功能。
特殊晶圓適配：支持薄晶圓 / 翹曲晶圓檢測，可適配面板檢測。
類型：硅晶圓、化合物晶圓、玻璃等
目標缺陷尺寸：>0.5 微米
檢測 throughput（產(chǎn)能）：>200 片 / 小時
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