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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備品牌
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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
機(jī)型：QDE系列
外延設(shè)單腔/多片（**3×8Inch）+潔凈真空機(jī)械手搬運(yùn)， ?各盤獨(dú)立控溫，控溫精度高； ?水平層流布?xì)?分子泵排氣，控制氣體分布均勻； ?工藝進(jìn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，精準(zhǔn)控制參數(shù)；
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