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釔是一種屬于稀土類的陶瓷材料該材料也被稱為釔氧化物，是**一種具有熱學(xué)穩(wěn)定性和抗等離子特性的氧化物。另外，該材料可被制成透明材料。氧化釔和Nanoe提供的其他陶瓷材料一樣，以良好的耐磨抗撞特性為特色。
氧化釔在工業(yè)陶瓷領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛。該材料具有抗等離子特性和光學(xué)特性，因此非常適合用于極端環(huán)境的防護(hù)玻璃。該材料還用于制作稀土元素激光的元件，或微電子基片。
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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是關(guān)乎國(guó)家經(jīng)濟(jì)，政治和國(guó)防安全的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，先進(jìn)陶瓷的研發(fā)與生產(chǎn)水平直接影響我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此，無(wú)論從經(jīng)濟(jì)安全角度還是產(chǎn)業(yè)成本考慮，要突破我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨“卡脖子”的
等離子刻蝕技術(shù)是在涂膠的晶圓上高效地復(fù)制掩膜圖形，通過(guò)化學(xué)和物理過(guò)程選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料的一個(gè)重要工藝過(guò)程，是現(xiàn)代集成電路制造領(lǐng)域不可缺少的工藝步驟?？涛g機(jī)，來(lái)源：中微半導(dǎo)體隨著集成電路
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